Методы получения тонких пленок». В практическом руководстве изложены основные данные о методах
получения тонких пленок Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок физические принципы
получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и
тонких Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурам-германиевых наноструктурированных
пленок и нанокластеров. Описаны различные
методы получения и исследования
пленок для создания
Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимацииВ учебно-методическом пособии описаны краткие теоретические сведения по способам
получения и
Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их созданияПрецизионные
методы оперативного контроля толщины
тонких пленок в процессе их создания
Микро- и нанотехнологииВ учебно-методическом пособии рассмотрены
методы получения наноструктурированных оксидных и
Формирование тонких пленок SiOC прямым осаждением из пучков ионов химически активных газовМетод реактивного ионно-лучевого синтеза
тонких пленок непосредственно из пучков ионов химически
Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроникиРассмотрены наноразмерные тонкопленочные структуры и
методы получения тонких пленок. обобщены