Рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния

Лозовой, Кирилл Александрович; Коханенко, Андрей Павлович; Акименко, Наталья Юрьевна; Дирко, Владимир Владиславович; Войцеховский, Александр Васильевич

Рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния

Лозовой, Кирилл Александрович, Коханенко, Андрей Павлович, Акименко, Наталья Юрьевна, Дирко, Владимир Владиславович, Войцеховский, Александр Васильевич

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-04-01T00:30:12Z

Аннотация:

Рассматривается эпитаксиальный рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния. Предложена кинетическая модель зарождения и роста трехмерных островков по механизму Фольмера – Вебера в этой системе. Получены зависимости среднего размера и поверхностной плотности квантовых точек от параметров их синтеза. Предложенная теоретическая модель может быть легко перенесена и на другие материальные системы, в которых реализуется рост островков по механизму Фольмера – Вебера.

Ключевые слова:
квантовые точки, кремний, германий, оксид кремния, наногетероструктуры, молекулярно-лучевая эпитаксия, критическая толщина, Фольмера-Вебера механизм, поверхностная плотность, функция распределения по размерам

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 2. С. 104-109