Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита

Поплавский, Василий Владимирович

Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-05-12T08:48:57Z

Аннотация:

Целью данной работы явилось исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита, и распределения в них атомов легирующих элементов.

Ключевые слова:
ионно-плазменные технологии, ионно-ассистируемое осаждение, осаждение металлов, графит, модифицирование поверхности, формирование легированных поверхностных слоев

Тип: Article

Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация