Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленокДостанко, А. П.,
Мадвейко, С. И.,
Телеш, Е. В.,
Мельников, С. Н.,
Завадский, С. М.,
Голосов, Д. А. В статье изложены современные тенденции развития
ионно-плазменных систем для ионной обработки и