Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления

Жилинский, Валерий Викторович; Чаевский, Вадим Витальевич; Филипович, Т. Н.

Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления

Жилинский, Валерий Викторович, Чаевский, Вадим Витальевич, Филипович, Т. Н.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:16:21Z

Аннотация:

Основной целью данной работы было синтезировать на поверхности лезвий ножей фирм Leitz, GUHDO комбинированным методом ионно-лучевого распыления (КИБ) синтезированной мишени, содержащей гальваническое Ni-ультрадисперсные алмазы (УДА) покрытие, и методом КИБ MoN покрытие и исследовать физико-механические свойства (структуру, фазовый и элементный состав, микротвердость, износостойкость) сформированных слоев.

Ключевые слова:
композитные катоды-мишени, катоды-мишени, вакуумное напыление, электролиты матового никелирования, композиционные покрытия Ni-УДА, ионно-плазменное MoN покрытие, ионно-лучевое распыление

Тип: Article

Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация