Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления комбинированным методом ионно-лучевого распыления (КИБ) синтезированной
мишени, содержащей гальваническое Ni
Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников степенью химической чистоты катода-
мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также
Управляемые автоэмиссонные катоды на основе пористого оксида алюминияУправляемые автоэмиссонные
катоды на основе пористого оксида алюминия