Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия

Карпович, С. Е.; Зубов, Г. А.; Форутан, М. М.; Салманзадех, Г. Й.

Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия

Карпович, С. Е., Зубов, Г. А., Форутан, М. М., Салманзадех, Г. Й.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:37:50Z

Аннотация:

В статье рассматривается предложенная прецизионная система перемещений для сборочного оборудования в микроэлектроники, построенная на механизме параллельной кинематики с шестью степенями свободы и шестикоординтном приводе прямого действия. Представлена аппаратная конфигурация системы управления.

Ключевые слова:
публикации ученых, система перемещений, многокоординатный манипулятор, параллельная кинематика, система управления

Тип: Статья