Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологииВ работе представлена
и описана прецизионная система перемещений установки автоматического контроля
Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия в микроэлектроники, построенная на механизме параллельной кинематики с шестью степенями свободы
и Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия в микроэлектроники, построенная на механизме параллельной кинематики с шестью степенями свободы
и