Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:49Z

Аннотация:

Исследованы процессы взаимодействия ионных пучков аргона и фреона-218 с мишенью из кремния. Плёнки формировались на подложках из кремния. Температура подложки не превышала 333 К. Установлено, что скорость нанесения увеличивается с ростом содержания фреона в рабочем газе, можно объяснить встраиванием атомов фтора в структуру диоксида кремния и снижением плотности покрытия. Исследовано влияние величины положительного потенциала на мишени на скорость нанесения пленок SiOF.Установлено, что наличие положительного потенциала на мишени неоднозначно влияло на скорость нанесения.

Тип: Статья