Ионно-химический синтез покрытий из нитрида углеродаИонно-химический синтез покрытий из нитрида углерода
Формирование пленок CNх реактивным ионно-лучевым распылениемИсследованы процессы формирования пленок нитрида углерода реактивным
ионно-лучевым распылением
Синтез пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кремнияСинтез пленок SiOF реактивным
ионно-лучевым распылением мишени из кремния
Формирование пленок SIOC реактивным ионно-лучевым распылениемФормирование пленок SIOC реактивным
ионно-лучевым распылением
Исследование морфологии поверхности тонких пленок диоксида гафния ионно-лучевым распылением металлической мишени с использованием метода атомно-силовой микроскопии
Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылениемТонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным
ионно-лучевым распылением
Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыленияАктивация процесса реактивного
ионно-лучевого распыления