Конструктивно- технологический  вариант  создания  БИС  преобразователя  емкость–напряжение  для микроэлектромеханических датчиков

Белоус, А. И.; Дрозд, С. Е.; Коннов, Е. В.; Мухуров, Н. И.; Гасенкова, И. В.; Belous, A. I.; Drozd, S. E.; Konnov, Е. V.; Mukhurov, N. I.; Gasenkova, I. V.

Конструктивно- технологический вариант создания БИС преобразователя емкость–напряжение для микроэлектромеханических датчиков

Белоус, А. И., Дрозд, С. Е., Коннов, Е. В., Мухуров, Н. И., Гасенкова, И. В., Belous, A. I., Drozd, S. E., Konnov, Е. V., Mukhurov, N. I., Gasenkova, I. V.

Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:44:09Z

Аннотация:

Рассматривается один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость–напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. One of variants of constructive-technological construction and creation capacity-voltage converter LSIC for electronic circuit of general application MEMS miniature sensor with capacitive output is examined.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, технология построения,, микроэлектромеханические датчики, интегральные схемы, преобразователь емкость–напряжение

Тип: Статья

Конструктивно- технологический вариант создания БИС преобразователя емкость–напряжение для микроэлектромеханических датчиков

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация