Микроэлектромеханические датчики в системах безопасности автомобиляМикроэлектромеханические датчики в системах безопасности автомобиля
Расчет упругих элементов МЭМС датчиков ускоренияМикроэлектромеханические системы (МЭМС) — устройства, способные преобразовывать механическую