Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:16Z

Аннотация:

учения кремниевыми пластинами обладающие высоким тангенсом угла диэлектрических потерь. Полученные результаты можно использовать при проектировании новых или модернизации существующих СВЧ плазменных систем технологического назначения, а также при разработке технологических процессов плазмохимической обработки полупроводниковых материалов.

Тип: Статья