СВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материаловСВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материалов
Исследование распределения СВЧ энергии в объеме разрядной камеры СВЧ плазмотронаВ резонаторных
СВЧ плазмотронах для получения разряда используется энергия «стоячих волн».
Динамическое распределение СВЧ энергии в плазмотроне на базе призматического резонатораДинамическое распределение
СВЧ энергии в плазмотроне на базе призматического резонатора
СВЧ плазмотрон атмосферного давления волноводно-резонаторного типаСВЧ плазмотрон атмосферного давления волноводно-резонаторного типа