Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

По вашему запросу найдено документов: 1689

Страница 1 из 169

СВЧ плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения СВЧ энергии в объеме плазменной камерыСВЧ плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения СВЧ энергии в объеме

СВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материаловСВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материалов

Исследование распределения СВЧ энергии в объеме разрядной камеры СВЧ плазмотронаВ резонаторных СВЧ плазмотронах для получения разряда используется энергия «стоячих волн».

Исследование неоднородности электрофизических характеристик СВЧ разрядной системы резонаторного типаПредставлены результаты измерений ряда электрофизических характеристик, определяющих работу СВЧ

Оптико-спектроскопические характеристики комплексированного разряда в СВЧ плазмотроне на базе волноводно-щелевого аппликатораОптико-спектроскопические характеристики комплексированного разряда в СВЧ плазмотроне на базе

Динамическое распределение СВЧ энергии в плазмотроне на базе призматического резонатораДинамическое распределение СВЧ энергии в плазмотроне на базе призматического резонатора

Влияние площади поверхности кремниевых пластин на величину СВЧ мощности в разрядной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа результаты можно использовать при проектировании новых или модернизации существующих СВЧ плазменных

Метод экспресс – диагностики стабильности работы СВЧ плазмотрона в диапазоне давлений газовой средыИсследование стабильности СВЧ разряда при различных режимах плазмообразования связано с

СВЧ плазмотрон атмосферного давления волноводно-резонаторного типаСВЧ плазмотрон атмосферного давления волноводно-резонаторного типа

СВЧ-плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения свч энергии в объеме плазменной камерыСВЧ-плазмотрон резонаторного типа с динамическим управлением распределения свч энергии в объеме

Страница 1 из 169