Способ травления кремниевой подложки, при котором погружают кремниевую подложку в разбавленный водный раствор, содержащий 0,5-1,1 % NH 4 F, 1,0-1,75 % HF и 0,07-0,14 % смачивающей добавки СВ-1017, и пропускают через кремниевую подложку анодный ток плотностью 50-75 мА/см 2.
