Катодно-вакуумное травление урана на установке ВУП-2ККатодно-вакуумное
травление урана на установке ВУП-2К
Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияСелективное плазмохимическое
травление нитрида кремния к диоксиду кремния
Селективное травление диоксида кремния в композитах «ядро SiO[2]– оболочка TiO[2]»Селективное
травление диоксида кремния в композитах «ядро SiO[2]– оболочка TiO[2]»
Травление поверхности медной фольги с целью получения контролируемой шероховатой поверхностиБардина, О. И.,
Солопчук, М. С.,
Митько, Д. В.,
Савицкая, С. А.,
Григорян, Н. С.,
Абрашов, А. А.,
Аснис, Н. А. Травление поверхности медной фольги с целью получения контролируемой шероховатой поверхности