Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Барайшук, С. М.; Вертель, М.; Будзинский, М.; Бобрович, Олег Георгиевич; Михалкович, О. М.

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Барайшук, С. М., Вертель, М., Будзинский, М., Бобрович, Олег Георгиевич, Михалкович, О. М.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T12:59:31Z

Аннотация:

В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами.

Ключевые слова:
металлические покрытия, пластины монокристаллического кремния, условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремниевые пластины

Тип: Article

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация