Расчетная оценка адсорбционно-десорбционного поведения продуктов пиролиза при получении GaAsxP1 –x в условиях МОС-гидридной эпитаксии

Максимов А.Д.; Давыдкин М.А.; Багаев Т.А.; Андреев А.Ю.; Яроцкая И.В.; Ладугин М.А.; Мармалюк А.А.

Расчетная оценка адсорбционно-десорбционного поведения продуктов пиролиза при получении GaAsxP1 –x в условиях МОС-гидридной эпитаксии

Максимов А.Д., Давыдкин М.А., Багаев Т.А., Андреев А.Ю., Яроцкая И.В., Ладугин М.А., Мармалюк А.А.

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T17:36:22Z

Аннотация:

Методом расчета функционала электронной плотности определены потенциалы адсорбции и десорбции продуктов пиролиза с подложкой в процессе роста GaAs_xP₁_{– x}/GaAs в условиях МОС-гидридной эпитаксии. На основании полученных данных произведена симуляция поведения продуктов пиролиза на поверхности роста с учетом адсорбции, десорбции и диффузии кинетическим методом Монте-Карло. Результаты расчетной оценки хорошо согласуются с экспериментальными данными. Представленный алгоритм расчета может быть использован для исследования адсорбционно-десорбционного поведения материалов других систем.

Ключевые слова:
МОС-гидридная эпитаксия, GaAsP, теория функционала плотности, адсорбция, десорбция

Тип: Article

Права: open access

Источник: Неорганические материалы