Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении

Ермоленко, М. В.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Замбург, Е. Г.

Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении

Ермоленко, М. В., Завадский, С. М., Голосов, Д. А., Мельников, С. Н., Замбург, Е. Г.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:24:16Z

Аннотация:

Исследовалось влияние режимов нанесения на трибологические характеристики тонкоплёночных слоёв нитрида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления. Были получены зависимости твёрдости, ширины дорожки трения, коэффициента трения и объёмного износа слоёв TiN от потока реактивного газа N2. Установлены условия нанесения, при которых формируются покрытия с наилучшими триботехническими параметрами.

Ключевые слова:
публикации ученых, магнетронное нанесение, нитрид титана, твердость, magnetron sputtering, titanium nitride, hardness, friction coefficient

Тип: Article

Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация