Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления

Кабак, Т. В.; Петлицкая, Т. В.

Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:32:42Z

Аннотация:

Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность не только избирательно препарировать ИМС, но также позволяют осуществлять модификацию или ремонт сложных объектов посредством сверхлокальной реконструкции.

Ключевые слова:
публикации ученых, ионно-лучевые технологии, интегральные микросхемы, микросхемы

Тип: Статья

Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация