Properties of CrSi2 Layers Obtained by Rapid Heat Treatment of Cr Film on Silicon - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Properties of CrSi2 Layers Obtained by Rapid Heat Treatment of Cr Film on Silicon

Kuznetsova, T., Lapitskaya, V., Solovjov, J. A., Chizhik, S., Pilipenko, V., Aizikovich, S.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:48:10Z

Аннотация:

Ключевые слова:
публикации ученых, thin ﬁlms, chromium, chromium disilicide, silicon substrate, rapid thermal treatment, roughness

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core