Исследование влияния примесей на синтез нанокристаллических слоев нитрида титана из плазмы электродугового разряда
Иванов, Юрий Федорович,
Коваль, Николай Николаевич,
Крысина, Ольга Васильевна,
Баумбах, Тило,
Дойль, Стивен,
Слободский, Тарас,
Тимченко, Николай Алексеевич,
Галимов, Руслан Маликович,
Чернов, Иван Петрович,
Шмаков, Александр Николаевич
Связанные документы (рекомендация CORE)