Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия

Калыгина, Вера Михайловна; Петрова, Юлианна Сергеевна; Прудаев, Илья Анатольевич; Толбанов, Олег Петрович

Стабильность электрических характеристик МОП-структур на основе оксида галлия

Калыгина, Вера Михайловна, Петрова, Юлианна Сергеевна, Прудаев, Илья Анатольевич, Толбанов, Олег Петрович

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:21:32Z

Аннотация:

Представлены результаты исследования вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик структур металл – оксид – полупроводник на основе GaxOy/GaAs, полученных методом термического испарения. Установлено влияние температуры отжига на характеристики структур. Обнаружено, что при длительном хранении в комнатной атмосфере структуры не меняют своих свойств, что проявляется в стабильности электрических характеристик.

Ключевые слова:
арсенид галлия, оксид галлия, МОП-структуры, вольт-фарадные характеристики, вольт-сименсные характеристики

Тип: статьи в журналах

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2016. Т. 59, № 6. С. 3-6