Технологии нано- и микросистемной техникиУчебно-методический комплекс для студентов спец. 1-38 01 04 "
Микро- и наносистемная техника"
Исследование микро- и нанообъектов методами сканирующей электронной микроскопииИсследование
микро- и нанообъектов методами сканирующей электронной микроскопии
Изготовление микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографииИзготовление
микро- и нано-структур методом глубокой рентгеновской литографии
Мультимедиа презентации в преподавании курса «Технологии микро- и наносистемной техники»Мультимедиа презентации в преподавании курса «Технологии
микро- и наносистемной техники»
Методы сканирующей зондовой микроскопии в микро- и наномеханикеМетоды сканирующей зондовой микроскопии в
микро- и наномеханике
Синтез и применение нанокристаллического ортоферрита висмута в микро- и нанотехникеСинтез и применение нанокристаллического ортоферрита висмута в
микро- и нанотехнике
Использование низкоразмерного кремния в производстве изделий микро- и наноэлектроникиИспользование низкоразмерного кремния в производстве изделий
микро- и наноэлектроники