Состав Ti/Si- и Co/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния
ионов гелия в
Изучение поверхности структур металл / кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме обратного рассеяния
ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием RUMP и методом резонансных ядерных
Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур напряжения для ассистирующих
ионов Со+, Мо+, W+ от 20 до 7 кВ и зависит как от отношения плотности потока
Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии обратное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, масс-спектроскопия вторичных
ионов, измерение
Модификация структуры поверхности сплавов Al-Fe высоко- и гиперскоростной кристаллизациейВ настоящей работе, используя резерфордовское
обратное рассеяние ионов гелия, сканирующую зондовую
Обратное рассеяние и прохождение через тонкие слои вещества электронов низких энергийОбратное рассеяние и прохождение через тонкие слои вещества электронов низких энергий