Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

По вашему запросу найдено документов: 74390

Страница 2 из 7439

Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем
Ковальчук, Н. С., Kovalchuk, N. S.
Silicon nitride films with low mechanical stresses for microelectromechanical systems
Wafer-Level Packaging of Microelectromechanical Systems Based on Frame Structure
Barbin, E. S., Kulinich, I. V., Nesterenko, T. G., Koleda, A. N., Shesterikov, E. V., Baranov, P. F., Il’yaschenko, D. P.
Modern microelectromechanical systems (MEMS) are devices that incorporate microelectronic
Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханнческих систем и полупроводниковых приборов
Ковальчук, Н. С., Kovalchuk, N. S.
Multilayer structures based on silicon nitride for membranes of microelectromechanical systems
The effect of surfactants on superconformal deposition of electroless composites in nanoscale patterns
Bogush, V. A., Богуш, В. А.
for metallization of high aspect ratio trenches for micro- and nanoelectronics and microelectromechanical
Устройство регистрации параметров движения механических объектов на базе микроэлектромеханических датчиков
Антуневич, А. Л., Ильев, И. Г., Кривец, А. Ф.
of microelectromechanical systems is used.
New tree monitoring systems: From industry 4.0 to nature 4.0
Valentini R., Marchesini L.B., Gianelle D., Sala G., Yarovslavtsev A., Vasenev V.I., Castaldi S.
the convergence of wireless technologies, microelectromechanical systems (MEMS) and the Internet. The development
Исследование механических свойств элементов МЭМС на основе анодного оксида алюминия
Биран, С. А., Короткевич, Д. А., Короткевич, А. В., Biran, S. A., Korotkevich, D. A., Korotkevich, A. V.
of nanostructured materials in microelectromechanical systems (MEMS) is very perspective. One
Influence of radiation expoure on the properties of dielectric layers based on anodic aluminum oxide
Biran, S. A., Korotkevich, D. A., Korotkevich, A. V., Garifov, K., Dashkevich, A.
, nanophotonics, microelectromechanical systems and aerospace industry. In space, electronic equipment
Devices and Methods for Measuring of the Ambient Air Dust. Short Review
Mukhurov, N. I., Khodin, A. A., Kim, Y.-J.
are the multi-wavelength photoelectric, MEMS, and capacitor elements. The microelectromechanics, microfluidics
Designing a Planar Fluxgate Using the PCB Technology
Kolomeitsev, A. A., Zatonov, I. A., Pischanskaya, M. I., Baranov, P. F., Ilyaschenko, D. P., Verkhoturova, E. V.
and microelectromechanical systems (MEMS) in such advanced sensors. The work describes a complete R&D cycle, from creating

Страница 2 из 7439

Фасеты

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core