Многослойные системы металлизации субмикронных интегральных схем предлагаемыми режимами плазмохимического травления пленки на основе сплава алюминия.
Травление пленки сплава на
Струйная печать халькопирита CuInxGa1-xSe2 тонкопленочных солнечных элементов предполагает последовательное осаждение, рисунка и
травление выбранных материалов. Кроме того, струйная