Ионно-плазменные технологии и нанокристаллические покрытияИонно-
плазменные технологии и нанокристаллические покрытия
Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения теоретически в целях
применения
технологии для анизотропного и селективного травления материалов с высокими
Ионно-плазменные методы получения наноразмерных структурИонно-
плазменные методы получения наноразмерных структур