Ионно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытийИонно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытий
Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыленияАктивация процесса реактивного
ионно-лучевого распыления
Ионно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхностиИонно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхности
Ионно-химический синтез покрытий из нитрида углеродаИонно-химический синтез покрытий из нитрида углерода