Плазменный синтез диоксида кремния в режиме ионно-пучкового фокусаПлазменный синтез диоксида
кремния в режиме ионно-пучкового фокуса
Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремниюТехнология селективного плазмохимического травления нитрида
кремния к поликристаллическому кремнию
Магнитосопротивление и низкотемпературная проводимость кремния легированного сурьмойМагнитосопротивление и низкотемпературная проводимость
кремния легированного сурьмой
Изучение процесса осаждения диоксида кремния из растворов кремнефтористоводородной кислотыГромова, И. Н.,
Печковский, Владимир Васильевич,
Мурашкевич, Анна Николаевна,
Воробьев, Николай Иванович,
Нутрихина, С. В.,
Полойко, В. И.,
Успенский, Д. Д. Изучение процесса осаждения диоксида
кремния из растворов кремнефтористоводородной кислоты
Обеднение кремния, индуцированное пленками нитрида кремния в структуре Si/Si₃N₄/Нематик/ITOНаноразмерные (< 10 нм) пленки нитрида
кремния, полученные магнетронным напылением, изменяют порог
Образование двойных ступеней на поверхности кремния (100): роль проницаемости А-ступенейОбразование двойных ступеней на поверхности
кремния (100): роль проницаемости А-ступеней