Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого телаИонное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на
поверхности твердого тела
Формирование гидрофобной поверхности на диоксиде кремния с развитым наноразмерным рельефомФормирование гидрофобной
поверхности на диоксиде кремния с развитым наноразмерным рельефом
Ионно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхностиИонно-лучевой источник для наноразмерной модификации
поверхности Генератор плазмы диэлектрического барьерного разряда для модификации поверхности твердых телГенератор плазмы диэлектрического барьерного разряда для модификации
поверхности твердых тел