Ионно-лучевой источник для наноразмерной модификации поверхностиИонно-лучевой источник для наноразмерной
модификации поверхности
Генератор плазмы диэлектрического барьерного разряда для модификации поверхности твердых телГенератор плазмы диэлектрического барьерного разряда для
модификации поверхности твердых тел