Комплексная электронно-ионно-плазменная обработка поверхности алюминия в едином вакуумном цикле результате реализации 
в едином вакуумном цикле комплексной обработки, сочетающей формирование легированного
 Развитие комплексного электронно-ионно-плазменного метода модификации поверхности материалов и изделийКоваль, Николай Николаевич, 
Иванов, Юрий Федорович, 
Девятков, Владимир Николаевич, 
Шугуров, Владимир Викторович, 
Тересов, Антон Дмитриевич, 
Петрикова, Елизавета Алексеевна  цикле. Проведено формирование 
в едином вакуумном пространстве пленок Si+Nb, толщиной 1 мкм каждая, на
 Электронно-пучковый синтез поверхностного сплава путем облучения многослойного Ni-Al-покрытия- алюминий. Сплав формировался 
в едином вакуумном цикле, на стальной подложке, путем напыления и последующего
 Исследование плазмы ЭЦР-разряда в вакуумном резонаторе как источника ионовИсследование плазмы ЭЦР-разряда 
в вакуумном резонаторе как источника ионов