Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроникиРассмотрены наноразмерные
тонкопленочные структуры и методы получения тонких пленок. обобщены
Многослойные планарные оптические волноводные структуры с поглощающими средамиМногослойные планарные оптические волноводные
структуры с поглощающими средами