Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Патрушева, Тамара Николаевна

Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Патрушева, Тамара Николаевна

Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:31:09Z

Аннотация:

Учеб. пособие для студентов вузов.

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

Рассмотрены наноразмерные тонкопленочные структуры и методы получения тонких пленок. обобщены результаты современных разработок в области технологии получения тонких пленок из растворов, сформулированы теоретические принципы процессов смачивания и самоорганизации, а также приведено используемое оборудование с учетом охраны окружающей среды. Среди новых современных растворных технологий "Золь-гель", "Ленгмюра-Блоджетт", "Молекулярная самосборка" и "Экстракционно-пиролитический метод". Показаны свойства органических и оксидных пленок, позволяющие создать на их основе устройства микро- и наноэлектроники.