Расчет параметров элементов интегральных микросхем : учебно-методическое пособие тонкопленочные и диффузионные
резисторы, конденсаторы,
индуктивности, интегрированные диоды, а также
Корректируемые резисторы микросхемКорректируемые
резисторы микросхем (КРМ), изготовленные с использованием
плазменных
Наноструктурные пленочные материалы и нанопроволокиНаноструктурные
пленочные материалы и нанопроволоки
Использование метода SILD получения материалов электронной техники стеклопластинах, покрытых слоем ITO (оксид индия-олова). Матрично-
пленочные структуры формировались на кремниевых