Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом

Джилавдари, И. З.; Емельянов, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкая, Т. В.; Gilavdary, I. Z.; Emelyanov, V. A.; Pilipenko, V. A.; Petlitskaya, T. V.

Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом

Джилавдари, И. З., Емельянов, В. А., Пилипенко, В. А., Петлицкая, Т. В., Gilavdary, I. Z., Emelyanov, V. A., Pilipenko, V. A., Petlitskaya, T. V.

Дата публикации: 2006

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:39:15Z

Аннотация:

Предложен неразрушающий метод исследования физико-механических свойств поверхно- сти материалов, основанный на экспериментальном и теоретическом анализе характера за- тухания свободных колебаний физического маятника с опорой качения. Вводятся безраз- мерные параметры, описывающие состояние поверхности. Даются оценки состояния по- верхностей кремниевых пластин с ориентацией <100> и <111>.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, состояние поверхности, физико-механические параметры, маятниковый метод исследования, трение качения

Тип: Статья

Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация