Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Effect of Si+ ion implantation in α-Ga2O3 films on their gas sensitivity

Yakovlev, Nikita N., Almaev, Aleksei V., Butenko, Pavel N., Tetelbaum, David, Mikhaylov, Alexey, Nikolskaya, Alena, Pechnikov, Aleksei I., Stepanov, Sergey I., Boiko, Mikhail, Chikiryaka, Andrei V., Nikolaev, Vladimir I.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T17:59:57Z

Аннотация:
Ключевые слова:
газовая чувствительность, газофазная эпитаксия, галогениды, ионная имплантация

Тип: статьи в журналах

Источник: IEEE sensors journal. 2023. Vol. 23, № 3. P. 1885-1895

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core