Композиционный состав циркониевого покрытия, осажденного на кремний в условиях ионного ассистирования состав покрытий на
кремнии входят атомы осаждаемого металла Zr, технологических примесей С, О и Al, а
Декорирование кремниевых структур методом химического осаждения меди на пористый кремний наноструктурированных пленок меди, получаемых методом химического осаждения на
пористый
кремний из растворов
Биполярный транзистор с изолированным затвором, изготовленный в объемном кремнии и по технологии «Кремний на изоляторе»Шелибак, И.,
Ловшенко, И. Ю.,
Стемпицкий, В. Р.,
Shelibak, I.,
Lovshenko, I. Yu.,
Stempitsky, V. R. кремнии и по технологии «
Кремний на изоляторе» (КНИ).
Рассмотрены особенности функционирования различных
Особенности электрохимического осаждения никеля в мезопористый кремний методом в пористый
кремний проведено осаждение никеля. Исследована зависимость поверхностного
Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластинВоробей, Р. И.,
Гусев, О. К.,
Жарин, А. Л.,
Петлицкий, А. Н.,
Пилипенко, В. А.,
Турцевич, А. С.,
Тявловский, А. К.,
Тявловский, К. Л. контроля и выявления дефектов структур
кремний-диэлектрик. Метод использовался для визуализации
Наноэлектронные приборы на квантовых колодцах диэлектрик/кремний/диэлектрикДанилюк, А. Л.,
Берашевич, Ю. А.,
Королев, А. В.,
Холод, А. Н.,
Борисенко, В. Е.,
Danilyuk, A. L.,
Berashevich, J. A.,
Korolev, A. V.,
Kholod, A. N.,
Borisenko, V. E. резонансных эффектов в наноразмерных периодических структурах
диэлектрик/
кремний Образование остаточных нарушений в кремнии, имплантированном ионами углерода и бораПлебанович, В. И.,
Белоус, А. И.,
Челядинский, А. Р.,
Оджаев, В. Б.,
Plebanovich, V. I.,
Belous, A. I.,
Chelyadinskii, A. R.,
Odzhaev, V. B. нарушений в
кремнии, имплантированном ионами С+ и методом двойной им-
плантации С+ и В+. Установлено, что
Физические процессы в светоизлучающих диодах на наноструктурированном кремнииЖагиро, П. В.,
Губаревич, А. А.,
Кацуба, П. С.,
Салимьянов, В. М.,
Смирнов, А. Г.,
Jaguiro, P. V.,
Gubarevich, A. A.,
Katsuba, P. S.,
Salimianov, V. M.,
Smirnov, A. G. светоизлучающих диодах на пористом
кремнии. Проведен краткий анализ соответствую
щих физических процессов и