Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылениемРуденков, А. С.,
Рогачев, А. В.,
Купо, А. Н.,
Завадский, С. М.,
Голосов, Д. А.,
Лучников, П. А. Исследовано влияние режимов формирования и термообработки
кремний-углеродных покрытий, осаждаемых
Формирование SiC методом вакуумной карбидизации на пористом кремнииФормирование SiC методом вакуумной карбидизации на пористом
кремнии Пористый кремний как материал для управления адгезией металлических элементов к поверхности кремнияКлышко, А. А.,
Бондаренко, В. П.,
Балукани, М.,
Klyshko, A. A.,
Bondarenko, V. P.,
Balucani, M. Пористый
кремний как материал для управления адгезией металлических элементов к поверхности
Микроструктура соединений кремния с переходными металлами (РОР) исследована микроструктура твердотельных слоев "аморфный
кремний —
атомы переходного металла