Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники учетом охраны окружающей среды. Среди новых современных растворных технологий "
Золь-гель", "Ленгмюра
Золь-гель технология формирования наноструктурированных диэлектрических слоевЗоль-гель технология формирования наноструктурированных диэлектрических слоев
Золь-гель синтез и пропускание многослойных покрытий BaTiO3/SiO2Сукалин, К. С.,
Райченок, Т. Ф.,
Гапоненко, Н. В.,
Шейдакова, К. В.,
Луконина, И. В.,
Холов, П. А.,
Свешников, И. В.,
Сома Раджи, K. Р. С.,
Sukalin, K. S.,
Raichenok, T. F.,
Gaponenko, N. V.,
Shaidakova, K. V.,
Lukonina, I. V.,
Kholov, P. A.,
Sveshnikov, I. V.,
Soma Raju, K. R. C. В работе изложены результаты формирования
золь-гель методом многослойных покрытий,
отличающихся