Формирование покрытия на кремнии ионно-ассистированным нанесением Zr в условиях самооблучения комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при
ионно-ассистированном нанесении
Нанесение пленок оксида кремния методом реактивного ионно-лучевого распыленияНанесение пленок оксида кремния методом реактивного
ионно-лучевого распыления