Микромеханические приводы движенияМикроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства размером до 1 мм, в которых
Микроэлектромеханические микрофоны высокой чувствительностиМикроэлектромеханические микрофоны высокой чувствительности