Основы технологии наноматериалов, развитие фотонных точек самосборки атомов либо применение
ионно-трековых технологических процессов с целью
Синтез HF – ZR – ZRN покрытий на ножах фрезерного инструмента сформированных слоев. Hf – Zr – ZrN покрытия были сформированы методами
ионно-лучевого распыления и КИБ. Покрытия
Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытийИонно-оптическая система мультипольного многоапертурного
ионно- лучевого источника для нанопокрытий