Исследование и разработка пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- и нанопорошков нитрида алюминия и оксида цинка с микродобавками соединений редкоземельных элементов для получения многофункциональных сенсорных систем

Исследование и разработка пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- и нанопорошков нитрида алюминия и оксида цинка с микродобавками соединений редкоземельных элементов для получения многофункциональных сенсорных систем

Дата публикации: 2010

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:47:56Z

Аннотация:

Объектом исследования являются технологические процессы получения сенсорных систем на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью данной работы является синтез пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- нанопорошков ZnO и AlN с микродобавками РЗЭ, получение многослойных сенсорных структур, проектирование и моделирование сенсорных систем на поверхностных акустических волнах. В процессе выполнения работы предложены методики получения смесей микро-нанопорошков оксида цинка и нитрида алюминия с микродобавками соединений редкоземельных элементов (оксидов и фторидов РЗЭ). Разработаны процессы формования распыляемых мишеней ZnO и AlN, легированных РЗЭ, путем статического и импульсного прессования порошковых смесей. Разработан технологический процесс формирования тонких пленок путем ионно-лучевого распыления мишеней ZnO и AlN с ионным ассистированием. Предложены основные конструктивные и схемотехнические решения и выполнено моделирование электронных компонентов сенсорной наносистемы на поверхностных акустических волнах.

Ключевые слова:
Порошок оксида цинка, Порошок нитрида алюминия, Оксиды редкоземельных элементов, Фториды редкоземельных элементов, Керамические распыляемые мишени, Ионно-лучевое распыление

Тип: Технический отчёт (Technical Report)