Структура и механические свойства кремний-углеродных покрытий, легированных хромом кремний-углеродных покрытий, сформированных ионно-лучевым распылением составной мишени на основе карбида
Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристалламиРассмотрена возможность регистрации дефектов
пленки окиси кремния на
кремнии с помощью нескольких