Информационные технологии проектирования электронных средств микроэлектромеханических устройств в программе
MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможностях
MEMS Pro
Development and Applications of MEMS ComponentsThis article provides the results of the
MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies
Обобщенный метод автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления микроэлектромеханических акселерометровНевлюдов, И. Ш.,
Хрусталев, К. Л.,
Бортникова, В. О.,
Nevliudov, I. Sh.,
Khrustalev, K. L.,
Bortnikova, V. O. for the production
of
MEMS accelerometers is developed. This method is based on two methods
Датчик угла наклона на основе MEMS-акселерометраДатчик угла наклона на основе
MEMS-акселерометра
Einführung und verwendung der mikrosensoren im fahrzeug: MEMS-technologieEinführung und verwendung der mikrosensoren im fahrzeug:
MEMS-technologie
Учёт расположения MEMS-датчика при идентификации движения по его сигналамУчёт расположения
MEMS-датчика при идентификации движения по его сигналам
Accumulation of porous silicon combustion energy for mechanical pulse enhancement in memsLazarouk, S.,
Dolbik, A. V.,
Sychevich, A.,
Maslenkova, E.,
Jiang Yuanqing,
Deng Zhao,
Labunov, V. Accumulation of porous silicon combustion energy for mechanical pulse enhancement in
mems МЕМС гироскоп MPU-9250 для идентификации динамических характеристик автооператора. Измерение этих параметров возможно с использованием микроэлектромеханического (
MEMS) датчика угловой
Adaptive correction of turbulent distortions by MEMS flexible mirror by an adaptive mirror with a variable geometry which can be created based on
MEMS. The annex to the adaptive