Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Разработка и применение компонентов МЭМС

Дата публикации: 2015-05

Дата публикации в реестре: 2020-03-13T23:51:59Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС

Тип: Journal Article


Связанные документы (рекомендация CORE)