Разработка и применение компонентов МЭМС

Levitskiy, Alexey A.; Marinushkin, Pavel S.; Левицкий, А.А.; Маринушкин, П.С.

Разработка и применение компонентов МЭМС

Levitskiy, Alexey A., Marinushkin, Pavel S., Левицкий, А.А., Маринушкин, П.С.

Дата публикации: 2015-05

Дата публикации в реестре: 2020-03-13T23:51:59Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС