Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов
микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты
и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур.
Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути
дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС