Получение наноразмерных соединений титана из газовой фазыПолучение наноразмерных соединений титана
из газовой фазы Особенности процесса получения наноразмерных порошков нитрида титана из газовой фазыОсобенности процесса получения наноразмерных порошков нитрида титана
из газовой фазы Влияние технологических параметров на синтез наноразмерных частиц из газовой фазыВлияние технологических параметров на синтез наноразмерных частиц
из газовой фазы Исследование текстуры карбидных и нитридных покрытий, осажденных из газовой фазыИсследование текстуры карбидных и нитридных покрытий, осажденных
из газовой фазы Кремнийорганические покрытия, формируемые из активной газовой фазыКремнийорганические покрытия, формируемые
из активной
газовой фазы Электрический транспорт в пористых структурах Si-Ge/c-Si, сформированных электрохимическим осаждением германия в пористый кремнийГорошко, Д. Л.,
Гаврилин, И. М.,
Дронов, А. А.,
Горошко, О. А.,
Волкова, Л. С.,
Гревцов, Н. Л.,
Чубенко, Е. Б.,
Бондаренко, В. П. методами химического осаждения
из газовой фазы. Для приборного применения полученных структур
необходимо
Разработка технологии создания толстых покрытий из монолитного вольфрама на подложке методом CVD стадийный процесс, либо разбавление
газовой смеси инертным газом для увеличения глубины пропитки.