Разработка технологии создания толстых покрытий из монолитного вольфрама на подложке методом CVD

Букатин, Тимофей Николаевич

Разработка технологии создания толстых покрытий из монолитного вольфрама на подложке методом CVD

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T10:14:55Z

Аннотация:

В ходе работы был получен процесс пропитки вольфрамового порошка и лома до гарантированной глубины сплошного вольфрама 400 мкм, в дальнейшем для увеличения толщины слоя сплошного вольфрама предлагается либо стадийный процесс, либо разбавление газовой смеси инертным газом для увеличения глубины пропитки.

Ключевые слова:
вольфрамовые покрытия, вольфрам, толстые покрытия, монолитный вольфрам, метод CVD, метод осаждения из газовой фазы

Тип: Article